微粒子計數器知識入門：從原理、粒徑到標準一次搞懂

在談到空氣品質與潔淨室管理時，微粒子計數器經常被視為必備設備。然而許多人只知道它“用來量測粒子”，卻不太了解真正的運作方式與背後的標準規範。這篇知識型文章將帶你從原理與粒徑概念開始，全面認識微粒子計數器的基礎知識。

微粒子計數器如何運作？— 光散射原理解析

多數微粒子計數器採用 雷射光散射（Light Scattering）技術。原理其實不難：

1. 儀器內部有穩定的雷射光源。

2. 當空氣樣本被吸入後，微粒會通過光束。

3. 微粒與光發生散射，強度因粒徑不同而變化。

4. 感測器接收散射訊號並進行運算。

5. 儀器依據散射大小與量測規則，判斷粒徑與數量。

簡單說：粒子越大，散射光越強；粒子越多，訊號越密集。

這項技術讓微粒子計數器能在短時間內準確判讀空氣品質，是潔淨室等受控環境的重要基礎量測手法。

粒徑是什麼？0.3 μm 為什麼最常被提到？

在微粒子計數器的規格表中，你會看到 0.3 μm、0.5 μm 或 5.0 μm 等單位，它們就是“粒徑大小”。

● μm 是什麼？

1 μm = 1 微米，相當於頭髮直徑的 1/70 左右，看不見也摸不到，卻可能對製程或產品造成巨大影響。

● 為什麼很多產業都強調 0.3 μm？

因為 0.3 μm 是 HEPA 濾網過濾效率的臨界點，同時也是半導體及製藥產業最關心的粒徑之一。
能否精準偵測到 0.3 μm，代表儀器是否有足夠靈敏度。

ISO 14644-1 與微粒子計數的關係

國際間最常引用的潔淨室標準是 ISO 14644-1。

它會針對不同潔淨室等級（ISO 1 到 ISO 9），規範每立方米空氣中「不同粒徑的粒子數上限」。例如：

• ISO 5：0.5 μm 粒子不得超過 3,520 顆

• ISO 7：0.5 μm 粒子上限為 352,000 顆

這些標準都是透過微粒子計數器偵測而來，因此該設備扮演的是「確認是否達標」的重要角色。

微粒子計數器的測試方式：抽氣量與測量點很重要

使用微粒子計數器時，並不是隨便量一下就算數。正式測試需要遵循一定規則：

● 抽氣量（Flow Rate）

多數儀器是 1 CFM（每分鐘立方英呎），抽氣量越大，測量越快速，但也要注意精準度。

● 測量點（Sampling Location）

依照 ISO 標準，潔淨室需依照面積分配測試點。

● 測試模式

• Spot Check：檢查某區域狀況

• Trend Monitoring：觀察粒子趨勢變化

• Continuous Monitoring：24/7 連續監控（多應用於製藥與半導體）

遵循正確程序，才能確保測量可靠與可追溯。

微粒子計數器的維護與校正觀念

為了確保量測準確，儀器需定期校正（Calibration）。

● 為什麼要校正？

因長期使用可能造成光源老化、偵測器靈敏度下降，帶來誤差。

● 校正間隔

多數產業會採用 一年一次 的校正規範，以符合法規及稽核要求。

● 如何避免誤差？

• 使用前保持探頭清潔

• 避免在高溫或高濕環境測試

• 測量時避免風速過強或氣流干擾

• 儀器存放時保持乾燥穩定

良好維護，能確保每筆數據皆可信、可追溯。

結語：了解微粒子計數器，就是掌握潔淨管理的基礎

微粒子計數器並不是只有“量空氣”這麼簡單，它牽涉到光學原理、粒徑結構、ISO 標準、抽氣量、校正方式等多面向知識。掌握這些基礎概念，不僅能更有效使用儀器，也能提升整體環境監控策略。

若你的產業依賴受控潔淨環境，深入理解微粒子計數器的運作機制，將是建立高品質製程與降低污染風險的重要第一步。